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纳米间隙的金属膜的制造纳米技术

技术#20130266

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图库
纳米技术NanofabricationNanogap
类别
研究人员
唱炫哦,博士
副教授,部门电气和计算机工程,科学与工程学院
外部链接 (www.ece.umn.edu)
由...管理
凯文镍
技术授权官 612-625-7289
专利保护

我们正在申请专利20150044428
美国专利9777372

纳米加工技术

以增加的精度和子纳米级结构的可靠性金属纳米间隙可以通过使用金属膜的纳米加工的标准方法,同时加入原子层沉积和胶带基于平坦化的独特的最后步骤中实现。使用这种制造技术允许已垂直取向的,通过该电磁波可以通过对无背景透射测量金属 - 绝缘体 - 金属结构的最终产品。该技术可用于生产低成本,高品质的过滤器,并为实验室仪器偏振片。

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纳米技术和制造限制

纳米技术和产品在纳米级的精确制造领域是因为不同的应用程序,设计提供了研究的热点领域。通过在金属膜纳米间隙挤压光,非局部电磁效应和电子隧穿,同时创建极端场增强被诱导。然而,限制出现在这样的研​​究工具制造,因为没有能够形成具有高可靠性和原子尺度分辨率结构纳米间隙可靠的技术。为了使该纳米间隙技术成为广泛使用的,用于在具有较高精度的金属纳米间隙的制造的技术是必要的。

收益和纳米间隙的材料制造的特点:

  • 更高的精度和产品比现有技术的可靠性
  • 产生低成本,高品质的过滤器和偏振器
  • 独特的原子层沉积和胶带基于平面化步骤

发展阶段 过程已被证明与纳米间隙进行了表征